以下能力分别对应产线上的一个质量控制环节,每项附支撑该能力的关键参数。
莫尔偏折在 8μm 采样下,1mm 微透镜可采 12,000 个数据点;微透镜边缘的相位台阶与相邻过渡区被逐点还原,因此填充率、离焦量与面型瑕疵都能被真实量化,而不被像素平均掉。
一次覆盖中央光学区 + 周边离焦区,无需转动镜片。
逐枚测离焦量与直径,直观显示超差结构;微透镜逐枚覆盖检测,全幅一次成像,无抽样遗漏。
统计任意区域的填充率、密度、数量,并生成球镜 / 柱镜光学地形图。
参数按用途分组直接列示:检测性能、样品适配、系统与集成、部署与物理。
寄送样品,以实测数据确认适用性;也可先索取完整技术资料与同类设备对比。